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電源開功率后,T,L值跑到99%后無法起輝

發布時間:2015-08-18 09:01      發布人:admin  瀏覽量:2009

1.如果之前是能正常使用的,出現這種情況多數是負載發生變化導致匹配范圍超出如真空度,腔體發生變化。

2.如果腔體及靶材沒有發生變化,可以檢查一下預置位置是否太偏??梢試L試取一個T/L 50%的預置點來重新匹配?;蛘邍L試手動調節T/L是否能夠達到匹配。

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